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產(chǎn)品分類
| 品牌 | Newport/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MFA 系列微型鋼線性位移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) |  | ||
| MFA-PPD | MFA-CC | MFA-CCV6 | |
| 行程范圍 | 25 mm | 25 mm | 25 mm |
| 最大速度 | 1 mm/s | 2.5 mm/s | 1.25 mm/s |
| 中心負(fù)載能力 | 50 N | 50 N | 25 N |
| 軸向負(fù)載 (+Cx) | 10 N | 10 N | 5 N |
| 逆軸向負(fù)載能力 (-Cx) | -10 N | -10 N | -5 N |
| 最小位移增量 | 100 nm | 100 nm | 100 nm |
| 精度，典型值 | ±0.9 µm | ±0.7 µm | ±1.0 µm |
| 精度，保證值 | ±3.0 µm | ±3.0 µm | ±3.0 µm |
| 單向重復(fù)精度，典型值 | ±0.12 µm | ±0.08 µm | ±0.08 µm |
| 單向重復(fù)精度，保證值 | ±0.25 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±1.0 µm |
| 雙向重復(fù)精度，典型值 | ±0.2 µm | ±0.15 µm | ±0.2 µm |
| 俯仰，典型值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad |
| 俯仰，保證值 | ±100 µrad | ±100 µrad | ±100 µrad |
| 俯仰順應(yīng)性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 偏擺，典型值 | ±30 µrad | ±30 µrad | ±30 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±50 µrad | ±50 µrad | ±50 µrad |
| 偏擺順應(yīng)性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm |
| 原點(diǎn)重復(fù)精度 | ±2.5 µm | ±2.5 µm | ±2.5 µm |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | Stepper Motor | DC Motor | DC Motor |
| 軸承 | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings |
| 螺紋類型 | M2 and M3 | M2 and M3 | M2 and M3 |
| 電纜長(zhǎng)度 | 3 m | 3 m | 1.5 m |
| 真空兼容性 | No | No | 10-6 Torr |
| MTBF | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) |
| Compliance | |||
Newport專有的雙列直線球軸承設(shè)計(jì)具有直接加工到平臺(tái)結(jié)構(gòu)框架中的軸承方式，可實(shí)現(xiàn)非常順暢的行程，更長(zhǎng)的耐用性和更長(zhǎng)的使用壽命。 與使用商用軸承的其他解決方案相比，MFA線性位移臺(tái)具有更高的負(fù)載能力和剛度，并且俯仰和偏航誤差也較小。
直流電動(dòng)機(jī)的最大特點(diǎn)是速度快，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流電動(dòng)機(jī)具有一個(gè)集成的齒輪箱和一個(gè)電動(dòng)機(jī)安裝的旋轉(zhuǎn)編碼器。這個(gè)2,048 cts / rev 高分辨率的旋轉(zhuǎn)編碼器提供位置反饋。 結(jié)合低摩擦機(jī)械設(shè)計(jì)，MFA-CC可提供100納米靈敏度的超平滑運(yùn)動(dòng)。 更快的運(yùn)動(dòng)，更高的可靠性和更低的游隙使直流電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)非常適合要求小增量運(yùn)動(dòng)，高動(dòng)態(tài)速度和良好重復(fù)性的應(yīng)用。
對(duì)于要求不高的應(yīng)用，步進(jìn)電機(jī)可能是比直流電機(jī)更經(jīng)濟(jì)的解決方案。 步進(jìn)電動(dòng)機(jī)使用磁吸和排斥的基本原理進(jìn)行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機(jī)械軸的旋轉(zhuǎn)。 為了提高運(yùn)動(dòng)的分辨率和平滑度，MFA-PPD具有微米步進(jìn)功能，這是一種將運(yùn)動(dòng)的完整步長(zhǎng)以電子方式劃分為大量局部步長(zhǎng)的方法。
全鋼機(jī)身允許使用更為緊湊的設(shè)計(jì)，使之具有出色的剛度重量比、更高的熱穩(wěn)定性和載重能力。
平移臺(tái)兩端具有運(yùn)行端點(diǎn)限位開關(guān)，以防止平移臺(tái)因超程而受損。
有關(guān)更多用途和安裝選項(xiàng)，頂板和底板 可以單獨(dú)訂購(gòu)實(shí)現(xiàn)垂直（Z軸）安裝和光學(xué)平臺(tái)安裝。 對(duì)于垂直安裝，請(qǐng)注意，垂直（Z軸）平臺(tái)應(yīng)連接到
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本，可兼容 10-6 hPa。
Newport還提供了集成CONEX控制器的直流電機(jī)線性工作臺(tái)CONEX-MFACC。對(duì)于開箱即用的控制，CONEX控制器是預(yù)配置的，并與MFA-CC級(jí)一起交付。
適用于MFA系列級(jí)的兼容運(yùn)動(dòng)控制器有:
1.XPS-RLD運(yùn)動(dòng)控制器 (2或4軸):需要一個(gè)XPS-DRV11驅(qū)動(dòng)模塊。
2.XPS-D運(yùn)動(dòng)控制器(2、4、6或8軸):需要一個(gè)XPS-DRV11驅(qū)動(dòng)模塊
3.運(yùn)動(dòng)控制器 (1軸、2軸或3軸) :即插即用兼容。
4.SMC單軸運(yùn)動(dòng)控制器 (CC或PP): 即插即用兼容
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